羅茨真空機(jī)組的羅茨旋片真空機(jī)組是以羅茨泵為主泵,以旋片泵為前級(jí)泵串聯(lián)而成的。羅茨旋片真空機(jī)組選用旋片泵作為前級(jí)泵,它克服了旋片泵使用時(shí)在一定壓力下抽氣速率低的缺點(diǎn),同時(shí)保留了羅茨泵能迅速工作,有較大抽氣速率的優(yōu)點(diǎn)。 因該機(jī)組結(jié)構(gòu)緊湊、抽速大、占地面積小,可以代替多臺(tái)機(jī)械真空泵,因此羅茨泵 旋片泵機(jī)組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽、電真空半導(dǎo)體等行業(yè)中抽除密閉容器中含氧不高的、無爆炸性的、對(duì)金屬無腐蝕性的、與泵油不會(huì)起化學(xué)反應(yīng)的以及不含有顆粒塵埃的氣體。
羅茨真空機(jī)組在一般工況條件下,羅茨泵和旋片泵串聯(lián)組成的機(jī)組最多可以為三級(jí)(二臺(tái)羅茨泵和一臺(tái)旋片泵),其極限壓力可以提高一個(gè)數(shù)量級(jí),即進(jìn)入10 1Pa,但要獲得更高的極限真空,再增加羅茨泵效果則不明顯。與前級(jí)同為機(jī)械泵的其它類型機(jī)組相比,本型號(hào)機(jī)組體積小,重量輕,噪聲低,真空度高。適合于抽除無腐蝕性、對(duì)泵油不起化學(xué)反應(yīng)的潔凈氣體,在氣鎮(zhèn)條件下,也可抽除少量可凝性氣體。機(jī)組既可以作為主抽氣設(shè)備,又可以作為更高真空獲得設(shè)備(如擴(kuò)散泵)的前級(jí)或預(yù)抽設(shè)備,廣泛應(yīng)用于真空冶煉,鋼液脫氣、真空干燥、真空浸漬、真空絕熱、真空濃縮、真空脫色及脫臭、電光源及保溫瓶膽的排氣等。
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