江蘇實為半導體科技有限公司-上海MOCVD生產(chǎn)配套設備廠家1234a3211
是國內(nèi)前列的MOCVD等半導體設備的核心部件和耗材供應商。由唐山實為半導體和海外專家陳景升共同投資組建,公司注冊資金2000萬,總部在邳州,并在蘇州設有辦事處。我國的半導體制造業(yè)在近年有了長足發(fā)展,但所使用的設備還主要來自國外,如MOCVD主要從美國和德國進口。1234a3211
主要特性如下:1234a3211
1、已通過量產(chǎn)驗證,在短時間內(nèi)設備即可到較理想的工藝水平1234a3211
2、產(chǎn)品經(jīng)過多道化學清洗,并使用超聲波處理,氮氣加熱烘干后在氮氣柜中保存1234a3211
3、隔熱板材料使用高純鉬,不含任何PBN,較之前壽命提升30%-50%,維護保養(yǎng)更加方便1234a3211
4、線圈加熱重新設計,B區(qū)在原來的基礎上加大,使加熱器溫度分布更大更均勻,效率更高1234a3211
5、支撐及固定點重新設計,整個加熱器不易變形,更加持久耐用1234a3211
6、維護更加方便快捷,可以有效的降低成本1234a3211
目前我司已量產(chǎn)MOCVD之關鍵組件如加熱器、整流罩、過濾器等產(chǎn)品,并正在開發(fā)和推廣刻蝕用托盤和靜電吸盤、離子注入機的離子源等產(chǎn)品。我司的目標是成為中國領先的半導體設備備件和耗材供應商,不但為客戶提供全面而可靠的產(chǎn)品,還要通過客制化服務,為客戶提供更為優(yōu)化的核心部件以提升機器的整體性能,為客戶提供高附加值的服務,實現(xiàn)雙贏的局面。-上海MOCVD生產(chǎn)配套設備廠家1234a3211為了迅速變化反應室內(nèi)的反應氣體,而且不引起反應室內(nèi)壓力的變化,設置“run”和“vent,,管道。1234a3211
氣體的輸運管都是不銹鋼管道。為了防止存儲效應,管內(nèi)進行了電解拋光。管道的接頭用氫弧焊或VCR及Swagelok方式連接,并進行正壓檢漏及Snoop液體或He泄漏檢測,保證反應系統(tǒng)無泄漏是MOCVD設備組裝的關鍵之一。1234a3211
【云端系統(tǒng)代發(fā)】-上海MOCVD生產(chǎn)配套設備廠家
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